ULVAC UTM-3303FHA
采用五軸磁浮軸承和數(shù)字控制的復(fù)合翼型渦輪分子泵。
UTM-FH、UTM-FW采用數(shù)字控制五軸磁浮軸承，實現(xiàn)了***、高可靠性和節(jié)能等優(yōu)點。FH系列是高背壓·高壓縮型，提高了氫壓縮比,用于輕·中間工藝，F(xiàn)W系列是廣域·大流量型，用于高負(fù)荷工藝和中間·硬工藝。
特點
具有監(jiān)控和自診斷功能以及通信功能，可與集中管理系統(tǒng)數(shù)字化通信。
配備有無耦合系統(tǒng)。 僅通過一個電源就可以與任何替換泵組合使用。
配備變速系統(tǒng)。排氣速度可以在25％至100％的范圍內(nèi)切換。
具有***的***表面處理性，可支持選擇特殊表面處理和內(nèi)部升溫系統(tǒng)，以進(jìn)行進(jìn)一步的硬化處理(FW系列)
采用斷裂能量吸收結(jié)構(gòu)，高安全性設(shè)計，減少故障時的設(shè)備損壞。
符合CE標(biāo)志
用途
中，重工藝用主泵(FW系列)
輕，中工藝用主泵(FH系列)
各種實驗裝置的高，***真空排氣用主泵