固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)是人們每時每刻所感知的三種物質(zhì)狀態(tài)，這三種狀態(tài)的物質(zhì)是由原子和分子構(gòu)成。通過輸入能量(如熱量)，可實現(xiàn)物質(zhì)從一種狀態(tài)轉(zhuǎn)化為另一種狀態(tài)。當(dāng)氣態(tài)物質(zhì)被進一步加熱到更高的溫度時，或是氣體在受到高能量的照射后，氣體物質(zhì)就轉(zhuǎn)化為第四態(tài)，即等離子體態(tài)。在這種狀態(tài)下，部分氣體原子已解離成電子和離子，也有一些在吸收能量后變成具有化學(xué)活性的亞穩(wěn)態(tài)原子。在這種狀態(tài)中，不但包含有一定能量的中性原子和分子，而且還有相當(dāng)量的帶電粒子、一定量的帶有化學(xué)活性的亞穩(wěn)態(tài)原子和分子。電離出的自由電子總的負電量與正離子總的正電量相等，這種高度電離的、宏觀上呈中性的氣體叫等離子體。
等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機，或者等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術(shù)，利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔、涂覆等目的。
等離子清洗機在材料學(xué)，光學(xué)，電子學(xué)，醫(yī)藥學(xué)，環(huán)境學(xué)、生物學(xué)等科研領(lǐng)域得了廣泛的應(yīng)用，主要用于材料表面清洗、活化、沉積、去膠、刻蝕、接枝聚合、疏水、親水、金屬還原、去除有機物、鍍膜前處理、器械消毒等。等離子清洗機的清洗特點是容易采用數(shù)控技術(shù)，自動化程度高；具有高精度的控制裝置，時間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進行，不污染環(huán)境，保證清洗表面不被二次污染。