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Bowman博曼X 射線熒光鍍層測厚儀器材料分析儀，獨(dú)有多 毛細(xì)孔 X 射線光學(xué)系統(tǒng)，專為測量晶圓及印制線路板上極 微小結(jié)構(gòu)而設(shè)計(jì)。 |
美國博曼（Bowman）擁有超過30年的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，是專業(yè)的鍍層測厚儀及元素分析儀器品牌。
O系列是毛細(xì)管機(jī)型，該機(jī)型搭載高端SDD探測器，可實(shí)現(xiàn)80um的測量斑點(diǎn)。美國博曼 O系列可在短時(shí)間內(nèi)滿足極小斑點(diǎn)的測量的同時(shí)獲取精準(zhǔn)的測量結(jié)果（準(zhǔn)確性和重復(fù)性）。
O系列采用毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu)，擁有準(zhǔn)確的測試性能，同時(shí)能實(shí)現(xiàn)極小的X射線光斑尺寸。該系列用毛細(xì)管結(jié)構(gòu)取代了安裝在博曼標(biāo)準(zhǔn)機(jī)型中的準(zhǔn)直器組件。由于多導(dǎo)毛細(xì)管可以傳遞數(shù)百倍的能量信號，可以有效提高到達(dá)樣品表面的入射X射線強(qiáng)度。O系列配備高分辨率的SDD探測器，在短時(shí)間內(nèi)捕捉并處理大量數(shù)據(jù)，在短時(shí)間內(nèi)滿足極小斑點(diǎn)的測量的同時(shí)獲取準(zhǔn)確的測量結(jié)果（準(zhǔn)確性和重復(fù)性）。
該系列采用80μm毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu)，同時(shí)配備可處理更高計(jì)數(shù)速率的高分辨率SDD硅漂移探測器。O系列的相機(jī)具有更大的放大倍數(shù)，45x視頻放大和5x數(shù)碼變焦。一個(gè)可編程的XY樣品臺也是標(biāo)準(zhǔn)配置。O系列的焦距非常小，適用于平整樣品。
M系列是高端機(jī)型，光斑尺寸僅為15μm(FWHM)，120倍放大相機(jī)用于觀察樣品上的細(xì)微特征; 同時(shí)配有低倍數(shù)相機(jī)，用于觀察樣品的宏觀成像。博曼的雙攝像頭系統(tǒng)可讓操作人員看到整個(gè)樣品，點(diǎn)擊圖像，通過高倍放大相機(jī)進(jìn)行放大，實(shí)現(xiàn)測量點(diǎn)的精確定位和測量。
可編程的XY平臺，可精確定位多個(gè)測量點(diǎn)；博曼專有的樣品模式識別軟件搭配自動對焦功能可幫助客戶自動快速完成細(xì)微樣品特征的測試。獨(dú)特的3D Mapping掃描功能可繪制出硅晶圓等部件表面的鍍層形貌。
該系列采用15μm毛細(xì)管光學(xué)結(jié)構(gòu)和高分辨率SDD探測器，以處理更高的計(jì)數(shù)率。相機(jī)具有120x放大和更高數(shù)字變焦能力。可編程的XY樣品臺是標(biāo)準(zhǔn)配置。M系列焦距非常小，所以使用時(shí)樣品必須平整。
W系列采用多毛細(xì)管光學(xué)機(jī)構(gòu)，可將X射線聚焦到7.5μm(FWHM)，是目前使用XRF技術(shù)進(jìn)行鍍層厚度分析的極小光斑尺寸。150倍放大相機(jī)用于觀察樣品上的細(xì)微特征; 同時(shí)配有低倍數(shù)相機(jī)，用于觀察樣品的宏觀成像。博曼的雙攝像頭系統(tǒng)可讓操作人員看到整個(gè)樣品，點(diǎn)擊圖像，通過高倍放大相機(jī)進(jìn)行放大，實(shí)現(xiàn)測量點(diǎn)的準(zhǔn)確定位和測量。
可編程的XY平臺，精度優(yōu)于+/-1μm，可準(zhǔn)確定位多個(gè)測量點(diǎn);博曼專有的樣品模式識別軟件搭配自動對焦功能可幫助客戶自動快速完成細(xì)微樣品特征的測試。獨(dú)特的3D Mapping掃描功能可繪制出硅晶圓等部件表面的鍍層形貌。
W系列儀器的標(biāo)準(zhǔn)配置包括7.5μm鉬靶光學(xué)結(jié)構(gòu)（可選鉻和鎢）和高分辨率、大窗口硅漂移探測器，該探測器每秒可處理超過2百萬次計(jì)數(shù)。硅漂移探測器應(yīng)用行業(yè)廣泛，是測量復(fù)雜鍍層的標(biāo)準(zhǔn)配置。高計(jì)數(shù)率能力是實(shí)現(xiàn)低檢測下限和高光譜分辨率的關(guān)鍵。