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氣動(dòng)伺服閥的控制信號(hào)均為電信號(hào)，故又稱電一氣伺服閥。是一種將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成氣壓信號(hào)的電氣轉(zhuǎn)換裝置。它是電一氣伺服系統(tǒng)中的核心部件。圖7為力反饋式電一氣伺服閥結(jié)構(gòu)原理圖。其中第一級(jí)氣壓放大器為噴嘴擋板閥，由力矩馬達(dá)控制，第二級(jí)氣壓放大器為滑閥。閥芯位移通過(guò)反饋桿5轉(zhuǎn)換成機(jī)械力矩反饋到力矩馬達(dá)上。其工作原理為：當(dāng)有一電流輸入力矩馬達(dá)控制線圈時(shí)，力矩馬達(dá)產(chǎn)生電磁力矩，使擋板偏離中位（假設(shè)其向左偏轉(zhuǎn)），反饋桿變形。這時(shí)兩個(gè)噴嘴檔板閥的噴嘴前腔產(chǎn)生壓力差（左腔高于右腔），在此壓力差的作用下，滑閥移動(dòng)（向右），反饋桿端點(diǎn)隨著一起移動(dòng)，反饋桿進(jìn)一步變形，變形產(chǎn)生的力矩與力矩馬達(dá)的電磁力矩相平衡，使擋板停留在某個(gè)與控制電流相對(duì)應(yīng)的偏轉(zhuǎn)角上。反饋桿的進(jìn)一步變形使擋板被部分拉回中位，反饋桿端點(diǎn)對(duì)閥芯的反作用力與閥芯兩端的氣動(dòng)力相平衡，使閥芯停留在與控制電流相對(duì)應(yīng)的位移上。這樣，伺服閥就輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)的流量，達(dá)到了用電流控制流量的目的。

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德國(guó)BadgerMeter伺服電機(jī)控制閥1/2NPT,1.4539,HH500
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德國(guó)BadgerMeter伺服電機(jī)控制閥3/8NPT
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德國(guó)BadgerMeter伺服電機(jī)控制閥1/2"NPT,1.4539,HH500,230 VAC
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