英國(guó)Edwards高真空泵
英國(guó)Edwards愛(ài)德華從1939年開始制造真空設(shè)備直到現(xiàn)在，包含半導(dǎo)體與新興技術(shù)、 一般真空產(chǎn)品和服務(wù)（售后支持），這些業(yè)務(wù)在其所服務(wù)的市場(chǎng)上不斷發(fā)展。英國(guó)Edwards產(chǎn)品是半導(dǎo)體、平板顯示器、LED 和太陽(yáng)能電池的制造過(guò)程中不可缺少的部分，應(yīng)用于日益多范圍化的工業(yè)過(guò)程，包括電力、玻璃和其他涂層應(yīng)用、鋼和其他冶金、制藥和化學(xué)；適用于科學(xué)儀器和許多研發(fā)應(yīng)用。
我們的目標(biāo)是您的業(yè)務(wù)成功。您的Edwards設(shè)備的性能可實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，以確保工具正常運(yùn)行時(shí)間，晶圓產(chǎn)量，操作和對(duì)環(huán)境的影響小。
捕獲泵技術(shù)可為從便攜式質(zhì)譜儀到大型粒子加速器的各種應(yīng)用創(chuàng)建高真空（HV）和高真空（UHV）環(huán)境。它們可以經(jīng)濟(jì)的方式產(chǎn)生盡可能低的真空度。
離子泵
離子泵，也稱為濺射離子泵或離子吸氣泵，是使用陽(yáng)極/陰極陣列使氣體電離的捕獲泵。離子濺射反應(yīng)性陰極材料，產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，將離子化的氣體變成固體化合物。這些化合物不再有助于真空系統(tǒng)的壓力，而是捕獲在離子泵中。離子泵可在10 -5至10 -12 mbar的壓力下運(yùn)行，大小范圍為0.2至1,200 l / s的氮?dú)狻?span>
鈦熱升華泵
TSP的工作方式是加熱鈦絲并將鈦分子升華（從固相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀啵┑奖砻嫔�。然后可以將升華的鈦分子與反應(yīng)性氣體（例如氧氣和氮?dú)猓┻M(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，并解離并擴(kuò)散氫。TSP可以在10 -5到10 -12 mbar之間運(yùn)行，抽速超過(guò)10,000 l / s的氫氣。
不可蒸發(fā)的吸氣泵
NEG是已被壓在固體基材上或燒結(jié)成圓盤的活性金屬。已發(fā)現(xiàn)鋯，釩和鐵的特定組合適合于HV和UHV環(huán)境。所使用的材料量控制著NEG泵的速度和容量，但通常范圍為55至412 l / s，容量為630至3600 Torr l / s。當(dāng)NEG充滿氣體時(shí)，可以重新激活它們而無(wú)需排入大氣。
高真空泵的主要特點(diǎn)
消除機(jī)械振動(dòng)
捕獲泵沒(méi)有活動(dòng)部件。消除了運(yùn)動(dòng)部件產(chǎn)生的振動(dòng)和電氣噪聲
高輻射耐受性
捕獲泵由耐輻射材料超過(guò)108 Gray制成。連接器和電纜還采用耐輻射材料制成，可連續(xù)運(yùn)行多年
耐高溫
無(wú)需特別考慮，捕獲泵可以烘烤至250°C。取下磁體可使高溫烘烤達(dá)到450°C。長(zhǎng)時(shí)間熱烘烤對(duì)于每個(gè)特高壓系統(tǒng)都至關(guān)重要
消除了定期維護(hù)
捕獲泵幾乎不需要維護(hù)，并且避免了昂貴的真空事件，因?yàn)樗鼈兣c大氣隔絕，節(jié)省了時(shí)間和資源
初期運(yùn)營(yíng)成本低
初始成本通常低于其他類型真空泵的可比規(guī)格。多年來(lái)低成本運(yùn)行，它們消耗的功率很少或沒(méi)有功率