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六氟化硫可用于有色金屬的冶煉和鑄造工藝,也可用于鋁及其合金熔融物的脫氣和純化。在微電子業(yè)中,可用六氟化硫蝕刻硅表面并去除半導體材料上的有機或無機膜狀物,并可在光導纖維的制造過程中,作為單膜光纖隔離層摻雜劑。加有六氟化硫的電流遮斷器額定電壓高,且不易燃燒,另外,六氟化硫還用于各種加速器、超高壓蓄電器、同軸電纜和微波傳輸?shù)慕^緣介質(zhì)。目前六氟化硫是應用較為廣泛的測定大氣污染的示蹤劑,示蹤距離可達100km。六氟化硫化學穩(wěn)定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),作制冷劑替代氟利昂,對臭氧層完全沒有破壞作用,符合環(huán)保和使用性能的要求,是一種很有發(fā)展?jié)摿Φ闹评鋭S米麟姎饨^緣介質(zhì)和滅弧劑,測定大氣污染程度的示蹤劑。
六氟化硫主要用于高壓開關中滅弧,在大容量變壓器和高壓電纜中作為絕緣材料使用?稍诤肆W蛹铀倨骷氨芾灼X射線設備中作為氣體的絕緣材料,利用SF6化學穩(wěn)定性好,對設備不腐蝕,在冷凍工業(yè)中可作為冷凍劑(操作溫度在-45~0℃之間),SF6對α-粒子有高度的停止能力,故在放射化學中也有應用;也可作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。
用作電子設備和雷達波導的氣體絕緣體。