超潔凈不銹鋼管道、管件、閥門的定義
用途：不銹鋼潔凈管道用于輸送半導體業(yè)中高純或超純潔凈氣體，及生物制藥產(chǎn)業(yè)中潔凈管道（各種水）。
表面處理方式：
RA 值的比較（Roughness Average,粗糙度平均值）
材質(zhì) 表面處理方式 內(nèi)表面粗糙度平均值（um）
316L AP RA〈=1.0
316L BA RA〈=0.8
316L EP RA〈=0.13-0.2
純氣配管技術(shù)是高純氣體供氣系統(tǒng)的重要組成部分，是能否將合符要求的高純氣體送至用氣點仍保持質(zhì)量合格的關(guān)鍵技術(shù)；所謂高純氣配管技術(shù)包括系統(tǒng)的正確設計、管件及附件的選擇、施工安裝和試驗測試等內(nèi)容。近年來以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品生產(chǎn)對高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的日益嚴格的要求，使高純氣體的配管技術(shù)日益受到關(guān)注和重視。以下針對高純氣體輸送從選材到施工以及驗收、日常管理作個簡單的概述。
常見氣體的種類
電子行業(yè)中常見氣體的分類：
普通氣體，也稱大宗氣體 （Bulk gas ）：氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（A2）等
特種氣體（Specialty gas ）主要有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等
特殊氣體的種類一般可分為腐蝕性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半導體氣體分類如下：
(一)、腐蝕性 / 毒性：HCl 、BF3、 WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、 PH3、Cl2、 BCl3 …等
(二)、可燃性：H2、 CH4、 SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等
(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等5
(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等
半導體氣體很多是對人體有害。特別是其中有些氣體如SiH4的自燃性，只要一泄漏就會與空氣中的氧氣起劇烈反應，開始燃燒；還有AsH3的劇毒性，任何些微的泄漏都可能造成人員生命的危害，也就是因為這些顯而易見的危險，所以對于系統(tǒng)設計安全性的要求就特別高。
氣體的應用范圍
氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎原料，應用范圍十分廣泛，在冶金、鋼鐵、石油、化工、機械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥醫(yī)療等部門，均使用大量的常用氣體或特種氣體。氣體的應用，特別對這些領域的高新技術(shù)有重要的影響，是其不可缺少的原料氣或工藝氣。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學技術(shù)的需要和推動，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量和數(shù)量等方面得到飛躍發(fā)展。
氣體在微電子、半導體行業(yè)中應用
氣體的使用在半導體制程中一直扮演著重要的角色，特別是半導體制程目前已被廣泛的應用于各項產(chǎn)業(yè)，凡舉傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè)，皆以所謂的半導體制程為產(chǎn)品的制造流程，其中的制程包括如干蝕刻、氧化、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當多的氣體，而氣體的純度則對組件性能、產(chǎn)品良率有著決定性的影響，氣體供應的安全性則關(guān)乎人員的健康與工廠運作的安全。
高純管道在高純氣體輸送中的意義
在不銹鋼熔煉制材過程中，每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢，不僅其表面粘有各種污染物，而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時，金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中，污染純凈氣體。當管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時，管材對所通過的氣體形成壓力下吸附，氣流停止通過時，管材所吸附的氣體又形成降壓解析，而解析的氣體同樣作為雜質(zhì)進入管內(nèi)純凈氣體中。同時，吸附、解析周而復始，使得管材內(nèi)表面金屬也會產(chǎn)生一定的粉末，這種金屬粉塵粒子同樣污染管內(nèi)純凈的氣體。管材的這一特性至關(guān)重要，為了確保輸送的氣體的純凈度，不僅要求管材內(nèi)表面有一個極高的光滑度，而且，應當具有很高的耐磨特性。
腐蝕性能較強的氣體時，必須選用耐腐蝕的不銹鋼管材作配管，否則，管材將會由于腐蝕而在內(nèi)表面產(chǎn)生腐蝕斑，嚴重時會出現(xiàn)大片金屬剝離甚至穿孔，從而污染輸配的純凈氣體。
大流量的高純、高潔凈度氣體輸配管道的連接，原則上全部采用焊接，要求采用的管材，在施焊時組織不發(fā)生變化。含碳過高的材料在焊接時，受焊接部位的透氣，使得管內(nèi)外氣體的相互滲透，破壞輸送氣體的純度、干燥度和潔凈度，導致我們的各項努力全部失去意義。
綜上所述，對于高純氣體及特種氣體輸送管道，必需采用一種特種處理的高純不銹鋼管，至使高純管道系統(tǒng)（包含管道、管件、閥門、VMB、VMP）在高純氣體配送中占有至關(guān)重要的使命
輸配管道潔凈技術(shù)的一般概念
高純、潔凈氣體體輸送配管道，是指對輸送氣體的“三度”有一定的要求或控制。
氣體純度：氣體中雜質(zhì)氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數(shù)來表示，如99.9999%,也用雜質(zhì)氣氛含量的體積比ppm 、ppb、 ppt表示。
干燥度：氣體中微量水分的含量，或稱之為濕量，通常以露點表示，如常壓露點-70℃。
潔凈度：氣體中含有污染物粒子的數(shù)量，粒徑為µm的粒子，多少粒/M3 來表示，對于壓縮空氣，通常也用不可避免的固體殘留物的多少mg/m3來表示，其中涵蓋了含油量。 |# N8 e; v: W. E0 y
污染物大小分類：污染物粒子，主要指管道沖刷、磨損、腐蝕產(chǎn)生的金屬粒子、大氣煙塵粒子，以及微生物、噬菌體以及含濕氣體凝聚的液滴等，按其粒徑的大小分為：
a)大粒子—粒徑在5μm以上
b)粒子—料徑在0.1μm-5μm之間
c)超微粒子—粒徑小于0.1μm。
為增強應用本技術(shù)時，能夠?qū)αＷ哟笮『挺蘭單位的感性認識，現(xiàn)提供一組具體的粒子狀況，供對照參考
以下為具體粒子對照
名稱 粒徑um 名稱 粒徑um 名稱 粒徑um
病毒 0.003-0.06 氣溶膠 0.03-1 霧化微滴 1-124
核燃 料 0.01-0.1 漆料 0.1-6 飛灰 1-200
碳黑 0.01-0.3 奶粉 0.1-10 殺蟲劑 5-10
樹脂 0.01-1 細菌 0.3-30 水泥塵 5-1001
香煙煙霧 0.01-1 砂塵 0.5-5 花粉 10-15
硅膠 0.02-0.1 殺蟲劑 0.5-10 人發(fā) 50-120
結(jié)晶鹽 0.03-0.5 濃硫塵 1-11 海沙 100-1200
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