潔凈室潔凈度之維持和控制，除了硬設(shè)備之配合投資外，也需要良好的軟件——管理制度來(lái)搭配，方能維持良好的潔凈度。無(wú)塵室內(nèi)之微污染來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析結(jié)果，作業(yè)人員占約80%。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出無(wú)塵室時(shí)塵埃有顯著增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度馬上劣化，可見(jiàn)潔凈度劣化之原因人是主要因素。
潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包括空調(diào)送風(fēng)、間隙滲入、建筑物、工作服、風(fēng)管材料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包括制程設(shè)備、工作人員、工具、加工制程、隔間材料、工作桌、包裝材料等。
對(duì)硅芯片而言，微塵粒子之附著將造成集成電路線路的變形或短路，使芯片失去運(yùn)作功能，因此微污染源的控制已成為無(wú)塵室管理的重要環(huán)節(jié)。表一為自然環(huán)境所測(cè)得的塵埃濃度，可為設(shè)計(jì)參考，而在微污染控制，其基本原則有四：
1.外部塵埃侵入之防止：
無(wú)塵室適當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原材料搬入無(wú)塵室前先做好清潔擦拭等防塵動(dòng)作，空氣過(guò)濾器適當(dāng)?shù)墓芾砗驮O(shè)置。
2.室內(nèi)發(fā)塵之防止：
隔間板、地板等無(wú)塵室材料的適當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵抑制、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的管理、使用無(wú)塵室專(zhuān)用器等。
3.室內(nèi)發(fā)塵之不積留：
墻壁體應(yīng)光滑無(wú)死角、無(wú)塵室需定期保養(yǎng)和清掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。
4.發(fā)生塵埃之排除：
換氣次數(shù)應(yīng)足夠，適當(dāng)?shù)目臻g布置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須適當(dāng)。
人、物入室的管理問(wèn)題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程管理關(guān)聯(lián)之問(wèn)題、室內(nèi)之空調(diào)及清掃關(guān)系之問(wèn)題，這些問(wèn)題將于下節(jié)祥述。
表1 自然界微塵粒子數(shù)
測(cè)量地點(diǎn) |
微塵粒子數(shù)（個(gè)/ft³）≥0.5µm |
大氣層圈 |
≦100 |
田園地區(qū)（微風(fēng)狀態(tài)） |
100，000~300，000 |
住宅地區(qū) |
100，000~200，000 |
辦公室（工作中） |
200，000~400，000 |
工業(yè)區(qū) |
400，000~1，000，000 |
正在吸煙的會(huì)議室 |
600，000~1，000，000 |