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一、“ALARM””燈亮
a.外控保護(hù)連接未連通；停電檢查外控保護(hù)點(diǎn)及冷卻系統(tǒng).
b.其他故障

二、點(diǎn)燈失敗
a.最小給定電流值過小；適當(dāng)加大給定電流值.
b.電燈引燃高壓不合適，
c.電極耐壓不夠，電極附近出現(xiàn)打火現(xiàn)象
d.高壓引燃單元壞
e.腔體內(nèi)去離子水不合格；換掉離子水，檢修去離子
f.燈管老化.