靜電的危害：
1、吸塵：生產(chǎn)過程中，由于靜電吸附的作用，塵埃易吸附在器件和設(shè)備表面，影響產(chǎn)品質(zhì)量，造成故障。
2、電暈放電：電暈放電時(shí)，往往伴隨著電暈噪聲，對(duì)收音機(jī)、通信機(jī)、微電子設(shè)備均會(huì)造成干擾。電暈放電會(huì)嚴(yán)重影響MOS電路和雙極性集成電路的產(chǎn)品質(zhì)量。
3、引起火災(zāi)或。
4、人體帶靜電會(huì)引起電擊。
靜電的消除：
靜電是最難控制的因素之一，靜電可以使半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的廢品增多、降低電子設(shè)備的可靠性。時(shí)間證明，在半導(dǎo)體器件的制造和測(cè)試過程中、在運(yùn)輸和儲(chǔ)存中、在設(shè)備的安裝和調(diào)試以及使用過程中，半導(dǎo)體器件都可能受到靜電的作用。因此，在半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)中，實(shí)際上所有的制造階段都需要防止靜電對(duì)器件的作用。
消除靜電的方法有很多，對(duì)有防靜電環(huán)境要求的無塵車間工程，常用以下幾種方法：
1、選用合適的材料
采用不易產(chǎn)生靜電或產(chǎn)生靜電后能較快泄露的材料，多種材料共同使用時(shí)，應(yīng)選用在電序列表中位置接近的材料。
2、接地
接地時(shí)帶電導(dǎo)體消除靜電最為普遍、經(jīng)濟(jì)、簡便、可靠的方法。
3、中和
將帶電體周圍的空氣離子化后，帶電的離子在電磁場(chǎng)作用下發(fā)生遷移，帶電體吸引異性電荷達(dá)到中和而消除靜電。
4、濕度控制
在眾多消除靜電的方法中室內(nèi)濕度控制也被認(rèn)為可以用來減少和消除無塵車間內(nèi)的靜電。通過在環(huán)境中保持高的相對(duì)濕度，在該區(qū)域內(nèi)物體的表面將形成薄薄的濕氣層，利用這一薄層來提供導(dǎo)電的通道，使得可能產(chǎn)生的電荷流過該濕氣層耗散靜電荷。
潔凈室在許多行業(yè)是必不可少的，尤其是在微電子工業(yè)方面有著嚴(yán)格的要求，例如生產(chǎn)較高檔的電子元器件就必須要有潔凈的工作環(huán)境，有關(guān)檢測(cè)部門在檢測(cè)時(shí)也需要有潔凈的工作環(huán)境來滿足其功能。為了使這個(gè)潔凈環(huán)境能滿足生產(chǎn)、檢測(cè)等要求，我們必須克服一個(gè)不容忽視的因素，那就是靜電。
在潔凈室里生產(chǎn)的各類電器元器件，基本上都需要防靜電，因?yàn)樯a(chǎn)高性能要求的產(chǎn)品時(shí)，若有靜電吸附，被吸附的微塵就成了擊穿中心，就會(huì)使材料的絕緣特性下降等。元器件、設(shè)備、甚至墻面或地板上都可能隨時(shí)產(chǎn)生靜電荷，有了靜電荷就有了靜電吸附的現(xiàn)象，導(dǎo)致潔凈室的潔凈度的下降。同時(shí)，潔凈度下降后，空氣中的微粒數(shù)量增加，這樣更加劇了靜電吸附現(xiàn)象的發(fā)生。
因此潔凈室在關(guān)注污染控制的同時(shí)也應(yīng)注意防止靜電，下面就從3方面來述說一下潔凈室靜電的防止方法。
1、防止?jié)崈羰依锂a(chǎn)生靜電
我們必須在設(shè)計(jì)和采用材料時(shí)就選用不易產(chǎn)生靜電，或產(chǎn)生靜電能迅速泄漏的材料。在以往的設(shè)計(jì)中我們?yōu)榱耸轨o電電荷有迅速逃逸的通路，往往只注重對(duì)地板的作用，即采用防靜電地板來消除靜電。并且只把系統(tǒng)電阻值限制在105—108歐姆之間來作為衡量防靜電的標(biāo)準(zhǔn)，目前看來是遠(yuǎn)遠(yuǎn)不夠的。
現(xiàn)在歐美、日本等國家在設(shè)計(jì)潔凈室時(shí)已經(jīng)不局限于防靜電地板了，對(duì)潔凈室隔斷、墻壁及潔凈的結(jié)構(gòu)系統(tǒng)等都考慮在內(nèi)。目前在設(shè)計(jì)時(shí)我們也會(huì)充分考慮到防靜電的要求，如采用噴涂靜電涂料、防靜電蠟等來作為輔助措施或補(bǔ)救方法來克服靜電。使?jié)崈羰也划a(chǎn)生或少產(chǎn)生靜電。
2、利用潔凈室的空氣、溫濕度來控制
我們?cè)谠O(shè)計(jì)潔凈室時(shí)一般利用其固有的條件來消除靜電。因?yàn)榭諝鉂穸仍赗H50%左右或溫度在23℃左右條件下，其形式的空氣導(dǎo)電會(huì)有良好的防靜電環(huán)境。設(shè)計(jì)條件允許時(shí)盡量滿足靠攏它。采用離子發(fā)生器也可消除靜電和防止帶靜電等。
3、消除人體帶電
進(jìn)入潔凈室的人員必須穿防靜電潔凈服、穿戴防靜電手套，穿防靜電鞋等來消除靜電。運(yùn)輸周轉(zhuǎn)中的工具如小車，箱子也應(yīng)采用防靜電的產(chǎn)品。
靜電放電在很多情況下是我們所不希望的，它在具有易燃易爆氣體的場(chǎng)所極易導(dǎo)致危險(xiǎn)的火災(zāi)。而且潔凈室內(nèi)的靜電對(duì)產(chǎn)品的傷害是極大的，因此，潔凈室靜電的控制是不可忽視的。
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