前在SF6檢測(cè)的應(yīng)用中同時(shí)并存著不同類型的設(shè)備，通過對(duì)一些技術(shù)資料的調(diào)查，這里把其中普遍承認(rèn)的各種檢測(cè)設(shè)備的主要特點(diǎn)說明一下。 （1）利用SF6氣體的高度絕緣特性，采用高壓電暈放由枯犬制成的乞休槍漏儀。能定性地檢測(cè)出環(huán)境中氣體泄漏，但該儀器在使用前必須在無Sf6氣體的清潔空氣中標(biāo)定，否則即使在高濃度SF6氣體環(huán)境中，它也不會(huì)報(bào)警。而且對(duì)于其它的一些氣體會(huì)有反應(yīng)，很難分辨是否是SF6氣體泄漏而引起的報(bào)警。這類儀器不適用于檢測(cè)SF6氣體，并帶有一定誤導(dǎo)性。
（2）利用Sf6氣體的化學(xué)特性，采用電化學(xué)技術(shù)研制的氣體檢漏儀。主要優(yōu)點(diǎn)是反應(yīng)快及氣體的選擇性，但是電化學(xué)SF6傳感器件存在衰減或中毒問題，在進(jìn)行檢測(cè)Sf6氣體時(shí)不能夠真實(shí)的檢測(cè)，傳感器使用壽命很短一般為一個(gè)月時(shí)間。
（3）利用SF6氣體的熱傳導(dǎo)特性，采用熱導(dǎo)法技術(shù)研制的檢漏儀。SF6熱導(dǎo)法優(yōu)點(diǎn)是物理萬(wàn)法檢測(cè)，SF6傳感器壽命比較長(zhǎng)，線性度好，靈敏度稍低。與紅外光譜法相比，其傳感器壽命不夠埋想，而且檢測(cè)精度達(dá)不到。
（4）利用Sf6氣體對(duì)聲波傳播阻力大的特性，采用聲波技術(shù)研制的氣體檢漏儀。它能檢測(cè)環(huán)境中SF6氣體含量大于2％ 體積百分比的濃度。其主要缺點(diǎn)是檢測(cè)下限太低，2 (20,000ppm) 的SF6氣體濃度己遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了理論上SF6氣休對(duì)人體的安全上限濃度1, 000ppm。
（5）利用SF6氣體對(duì)光的吸收特性，采用紅外光技術(shù)研制的氣體檢漏儀。SF6氣體作為目前發(fā)現(xiàn)的最穩(wěn)定的溫室效應(yīng)氣體，踞實(shí)驗(yàn)證明在10.5um處具有強(qiáng)烈的光譜吸收特性。SF6坑窄帶濾光片、高靈敏低噪聲光電探測(cè)電路、穩(wěn)定的光斬波器等先進(jìn)的設(shè)計(jì)方法和技術(shù)實(shí)現(xiàn)了對(duì)待測(cè)區(qū)域中SF6氣體濃度的實(shí)時(shí)、在線高靈敏激光光譜遙測(cè)。用紅外光譜吸收技術(shù)檢測(cè)，對(duì)SF6氣體泄漏檢測(cè)，測(cè)量精度可高于百萬(wàn)分之一，檢測(cè)分辨率達(dá)到1ppm量級(jí)，而且重復(fù)性好，穩(wěn)定可靠，使用壽命長(zhǎng)，定量分析，實(shí)現(xiàn)了大范圍的連續(xù)空間的檢測(cè)，操作簡(jiǎn)單，故障率少。
