在汽車零件及其它各種機械零件的測量中，目前已大量采用三坐標測量機，在電氣及電子零件測量方面，則大量采用顯微鏡或圖像測量儀。隨著加工精度的提高，測量精度的要求也不斷提高。目前，測量精度達1μm以內的超高精度三坐標測量機、顯微鏡、圖像測量機等已開始普及。其中，初項（首項）誤差為0.35μm的三坐標測量機已投放市場。另外，整個零件均采用攝像頭（照相機）或激光進行測量，并可對尺寸測量及整體形貌進行評價的測量機也已大量使用。
近期，人們對大幅度提高測量精度極為關注。原來為0.1mm左右的精度，現(xiàn)在已能達到10μm甚至幾μm的水平。帶攝像頭的專用測量機或三坐標測量機已配置帶有在線激光測頭系統(tǒng)等附屬裝置，使之具有多種測量功能。另外，推出的能與接觸式測頭自動切換、配備輕而小的圖像測頭的三坐標測量機，可在一臺儀器上實現(xiàn)接觸式和非接觸式的測量。
如何抑制高速運動和加減速時產生的振動，提高測量機的可靠性，也是人們關注的問題。各公司在設計產品時，均盡可能提高測量機的剛性和采用高水平的驅動控制技術，以減輕測量過程中的振動。
目前，在測量儀器制造業(yè)中，各方面均占有很大優(yōu)勢的三豐公司（Mitutoyo）、德國卡爾蔡司+東京精密及海克斯康集團（Leitz、Brown&sharpe、DEA、Tesa、Sheffield及其他）形成了三大巨頭鼎立態(tài)勢。