目前多數(shù)以加速度傳感器搭配陀螺儀傳感器通常經(jīng)過(guò)整合設(shè)計(jì)、來(lái)建構(gòu)可進(jìn)行動(dòng)態(tài)追蹤與捕捉3D空間的完整運(yùn)動(dòng)軌跡。以現(xiàn)有的MEMS陀螺儀傳感器為例，MEMS陀螺儀傳感器又名角速度傳感器，其實(shí)MEMS陀螺儀傳感器的核心組件，是一組經(jīng)過(guò)硅制程的微加工機(jī)械組合，在硅結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上為參照一組如同音叉機(jī)制的運(yùn)轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，其應(yīng)用裝置的角速度感測(cè)，其工作原理為由相互正交之振動(dòng)與轉(zhuǎn)動(dòng)導(dǎo)致的交變科里奧利力，至于振動(dòng)的物體由柔軟之彈性結(jié)構(gòu)懸掛于基座上，MEMS陀螺儀傳感器整體動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，是由2D彈性阻尼系統(tǒng)整合，系統(tǒng)中的振動(dòng)和轉(zhuǎn)動(dòng)所產(chǎn)生的科里奧利力將角速度之能量轉(zhuǎn)移至傳感模式，角速率轉(zhuǎn)換為特定感應(yīng)結(jié)構(gòu)的直向位移，透過(guò)MEMS的結(jié)構(gòu)進(jìn)而取得變化量的感測(cè)信息。
至于陀螺儀傳感器與加速度傳感器最大的不同是，陀螺儀傳感器的量測(cè)數(shù)據(jù)較偏向斜度、偏航等動(dòng)態(tài)信息，反而與重力、線性動(dòng)作感測(cè)數(shù)據(jù)較無(wú)關(guān)，陀螺儀傳感器多在偵測(cè)物體水平改變狀態(tài)時(shí)較能達(dá)到效用，無(wú)法如加速度傳感器對(duì)于物體移動(dòng)或移動(dòng)動(dòng)能具較高的感測(cè)能力。相反的，加速度傳感器可在偵測(cè)物體移動(dòng)狀態(tài)具較高實(shí)用效益，但卻無(wú)法感測(cè)物體的小幅角度改變。因而將加速度傳感器與陀螺儀傳感器整合，即可讓動(dòng)態(tài)感測(cè)系統(tǒng)同時(shí)具備直向速度與轉(zhuǎn)動(dòng)數(shù)據(jù)的感測(cè)信息，讓動(dòng)態(tài)感測(cè)系統(tǒng)的偵測(cè)范圍更全面、完整。
在MEMS的節(jié)能設(shè)計(jì)方面，在系統(tǒng)毋須使用動(dòng)態(tài)感測(cè)應(yīng)用時(shí)，MEMS可以搭配關(guān)閉部分功能達(dá)到高效節(jié)能效用。例如，在陀螺儀傳感器設(shè)計(jì)方案中，可將陀螺儀傳感器的傳遞訊號(hào)與調(diào)節(jié)電路區(qū)分為馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部份、加速度傳感器感應(yīng)電路兩大部份，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)部份為利用靜電驅(qū)動(dòng)的原理令機(jī)械組件產(chǎn)生前/后振蕩，產(chǎn)生感測(cè)過(guò)程所需的諧振作用，至于感應(yīng)部份為利用量測(cè)系統(tǒng)電容變化量，來(lái)取得科里奧利力的數(shù)值變化，于對(duì)應(yīng)感應(yīng)質(zhì)點(diǎn)上所生成的微弱位移數(shù)據(jù)，將角速率變化量，轉(zhuǎn)換成對(duì)比角速度變化量之對(duì)應(yīng)模擬信號(hào)(或數(shù)字信號(hào))輸出。