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壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運(yùn)動的壓電平臺。
運(yùn)動范圍可達(dá)375μm，具有體積小、無摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級分辨率及定位精度且具有極高的可靠性，壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。

壓電納米定位臺性能

·超高分辨率

壓電納米定位臺采用無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，可實(shí)現(xiàn)亞納米級分辨率。
芯明天N60.X系列壓電納米定位臺，配套E53系列壓電控制，可實(shí)現(xiàn)0.5nm的步進(jìn)分辨率。

·大出力

芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷，出力可達(dá)幾千牛頓，廣泛應(yīng)用于精密加工等領(lǐng)域。

·快速響應(yīng)

壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅(qū)動，響應(yīng)時間可快至毫秒級。
芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器，可實(shí)現(xiàn)滿幅值階躍時間為1.5ms。

·無磨損

平臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。

·電壓驅(qū)動

芯明天壓電納米定位產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動電壓為0~120/150V，可產(chǎn)生375μm位移行程。
同時可以根據(jù)要求定制其他電壓驅(qū)動版本。

驅(qū)動控制系統(tǒng)

芯明天壓電陶瓷控制器通過模擬輸入或數(shù)字輸入控制，具有功率放大功能，且輸出電壓、輸出頻率可調(diào)。
多種通道數(shù)及功能可選，可驅(qū)動各種壓電類產(chǎn)品，同時也可根據(jù)應(yīng)用需求提供定制服務(wù)。

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